低溫液氬

液氬性質：

無色、無味、無臭、無毒的惰性氣體，化學性質極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3  (21.1℃，101. 3kPa)，液體密度1394.Okg．m-3(一185.9℃，101. 3kPa)。沸點-  185.9℃。熔點-189.2℃。臨界溫度-122.3C，臨界壓力4. 893MPa。溶于有機溶劑。不燃燒，無毒，但人體吸入易窒息。無腐蝕性。若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險.

液氬制法：

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬，粗氬經進一步提純可得到高純氬。

液氬用途：

高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬可用作色譜載氣，也可用作大規模集成電路中混合氣體的稀釋氣。氬被廣泛用于充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷及其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中，氬氣用于吹煉特種鋼，以提高鋼的質量，特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。

液氬安全性：

無毒，是一種窒息性氣體，高濃度時，使氧分壓降低而發生窒息，氬濃度達50%以上，引起嚴重癥狀；75%以上時，可在數分鐘內死亡。當空氣中氬濃度增高時，先出現呼吸加速，注意力不集中，以致死亡。避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其他高濃度區作業，須有人監護。液態氬可致皮膚凍傷；眼部接觸可引起炎癥。貯存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物分開存放，切忌混貯。